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扩散泵真空系统的污染及预防

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-10-31 14:26:54 * 浏览: 23
扩散泵真空系统使用各种z *真空系统,其真空范围为10到3Pa的1.3倍至10-5 Pa的1.3小时。各种类型的真空设备包括扩散泵的真空系统在长期使用后,常见的故障是无法抽真空,或者真空无法吸收原始极限真空度。不能抽真空的原因需要仔细分析,这可能是由于活动密封件松动,焊缝泄漏,真空泵或真空阀等部件损坏造成的。另外,真空室壁内的油蒸气污染,真空过程中各种污染物的污染也可能是主要原因。预防方法是:1定期清洁真空室,2定期清洁油封机械真空泵和油金属扩散泵。清洁真空室时,有必要在打开真空室之前关闭油扩散泵和真空室之间的真空阀,以防止污染物掉入扩散泵中。可以用纱布或丝布擦去真空室内的颗粒污染物。用细砂纸轻轻擦去表面的锈和氧化物层。用清洁的汽油,酒精,丙酮或甲醇擦洗表面油。 z *之后,用丝绸布擦拭表面,直到看不到灰色标记。对于油封机械泵,拆下泵后,可以按以下步骤进行清洁:1首先用废汽油清洁,然后用汽油清洁,再用航空汽油清洁后z *。 2用棉布或丝布蘸少量甲醇或丙酮一次擦拭零件表面。请勿使用棉纱来防止棉线残留在零件表面上。 3如果有铁锈或毛刺,请用细石子或金相砂纸轻轻擦拭,注意不要损坏零件表面。 4应彻底清除油道通孔,油槽和气体通道内的污垢,并用压缩空气吹干油道。不要留下汽油,甲醇,丙酮等残留物进行清洁。 5清洁后,用丝布擦拭部件,然后用热空气干燥,然后将其放入存储柜中,以免灰尘。要清洁油封的机械泵而不会出现明显的故障,通常无需拆卸泵,而只需要从放油孔释放旧的油和污垢即可。然后,从进气口注入新油,用手将泵缓慢转动几圈,然后释放油。这样,重复一两次,然后在z *之后注入新油。要清洁金属油扩散泵,请执行以下步骤:1取出泵芯并将其拆解。用于清洁棉纱网所有部位的泵油。 2用棉或丝布擦去泵内壁上的泵油。 3用酒精,丙酮或加热到60°C〜70°C的氢氧化钠水溶液直接清洁泵的内壁表面和泵芯。4用吹风机的热空气干燥。