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独立光束源快速变化型分子束外延设备

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-09-05 0:59:54 * 浏览: 3
该设备主要由清洁,无油的超高真空系统,外延生长和控制系统以及监测和分析仪器组成。结构示意图如图10-36所示。该设备的真空室是由不锈钢制成的直径为450mm的圆筒。需要打开20多个不同尺寸的法兰来配置各种表面分析仪器,样品架,样品转移结构和分子束源。和观察窗等。为了充分利用升华泵的抽速,升华泵的直径与真空室的直径一致,并选择法兰连接。为了便于真空室的布局,该装置采用水平布局,使真空室的凸缘和升华泵精确对中,真空室和超高真空单元分为两个独立的支架,然后使用铁轨。两个部件精确对中,确保可靠密封,并在真空室打开时节省起重设备。独立光束源快速变化型分子束外延装置本身具有两个特征。 s *是分子束源。它由六个独立的分子束炉组成,安装在160毫米直径的法兰上。每个炉子都有一个带加热导线的独立闸门。热电偶集中在一个小法兰上。因此,每个炉子可以容易地独立更换而不会相互影响。其次,它具有独立的样品转移结构,可以快速交换样品,提高工作效率。