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弹道式钛泵和低温制冷泵,用于极高真空

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-06-30 6:19:45 * 浏览: 13
弹道式钛泵对惰性气体有一定的抽速,但由于热线的存在,极限压力在10-9 Pa范围内,抽速不易做,而且经常用升华泵和溅射离子泵代替。低温制冷泵通过增加冷冻吸附表面可以获得大的泵送速度,并且是获得极高真空度必不可少的泵送装置。它很干净,因为它不使用真空系统中的油性工作液。在制冷泵饱和后,通过定期再生可以恢复泵送能力。