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低温泵极限压力

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-06-27 2:52:16 * 浏览: 52
低温板冷凝气体分子的示意图如图5-46所示。入射在低温板上的大多数气体分子被吸附或凝结在低温板的表面上,并且一小部分被弹回或重新蒸发(解吸)到该空间中。让气体分子与低温板的粘附概率为交流,然后每单位时间吸附的分子在表面上凝结的速率是凝结层的表面(远远超过单层),以及分子的数量每单位面积每单位时间蒸发(蒸发速率),其中Ts和Ps各自为冷凝层表面温度和该温度下的冷凝气体饱和蒸气压。无论容器和泵壁的排气量如何,当冷凝速率和蒸发速率达到稳态平衡(即N1 = N2)时,理论上是低温系统达到的极限压力。表5-18显示了在不同温度下300K的低温板提取。在气体条件下,理论极限压力按式(5-23)计算。从表5-18可以看出,当去除300K氢气并且低温板温度Tklt为3K时,可以获得非常低的极限压力。为了有效地去除H2,Ne,He和其他气体,现代低温泵在低温冷凝板上粘附吸气材料,如活性炭和分子筛。泵送机制是低温捕集(冷凝)和低温吸附。由于泵送,滚筒未被烘烤和脱气,并且通常可以获得小于10-8Pa的极限压力。