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真空泵密封气体

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-06-10 0:34:46 * 浏览: 11
当泵送腐蚀性工艺气体时,存在气体可能损坏泵部件的风险。为避免这种危险,必须使用连续的惰性气体流保护敏感元件。因此,泵体配备有特殊的进气系统,通过该系统,气体在指定位置流入泵系统。在涡轮分子泵中,主要是轴承和电机隔室需要保护。吸入马达隔室中的密封气体可防止腐蚀性气体与轴承中的润滑剂或腐蚀敏感部件发生化学反应,并防止灰尘和颗粒进入润滑剂储存罐并与润滑剂混合。密封气体的使用保护电动机并防止颗粒进入并使轴与应急轴承接触。还建议无润滑涡轮分子泵除了轴承密封气体外,还使用具有工艺能力的干式前级泵和吹扫气体注入工艺泵。各种抽水阶段。使用压力调节器或流量调节器(质量流量控制器或MFC)在校准喷嘴上游调节与过程相关的吹扫气体流量,并通过压力传感器和开关监测。